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手套箱集成蒸發鍍膜機 SPES-400A


        SPES-400A蒸發鍍膜設備是昭信半導體為科研院所研制的一款??榛舴⒍頗ど璞?,最多可以安裝4個金屬蒸發源+3個有機蒸發源。樣品臺可旋轉,轉速連續可調;樣品臺可選加熱、水冷等功能。SPES-400A能與手套箱系統有機結合,實現高真空多源有機、金屬電阻蒸發及手套箱?;ぬ跫縷骷篤謚譜?、檢測封裝等。

SPES-400A蒸發鍍膜設備主要技術指標

鍍膜室

SUS304不銹鋼制作方箱式,前滑開門,門上配有觀察窗;鍍膜室內凈尺寸:L400×W 400×H450;腔室配有照明及膜厚儀接口;

真空系統

復合分子泵(抽速 1200L/S)+合資直聯旋片泵(抽速 9L/S),高真空插板閥;

真空極限

優于 5.0×10-5Pa;抽速:從大氣抽至 2.0×10-4Pa≤30min;

漏率

1.0×10-8mbar·l/s;

樣品臺

抽屜式結構,承載最大 120×120mm基片;配有氣動基片臺擋板;基片臺磁流體密封,電機驅動,旋轉速度 0-20轉/分鐘可調;靶基距可調;樣品臺可額外選配加熱、水冷等功能。

蒸發源

2組水冷金屬蒸發源及2臺2KW蒸發電源(兩組可獨立或共蒸),蒸發溫度小于1300℃;1組有機束源式蒸發源及蒸發源,獨立 PID智能溫控電源;三組獨立蒸發源分布在中心圓上;成膜均勻;每源配獨立擋板及源間防污隔板;

晶振膜厚控制儀

配置進口膜厚儀+水冷探頭;

控制方式

手動邏輯控制及?;は低?;

報警及?;?/p>

對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應?;ご朧?;