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高溫MOCVD

                        

產品介紹:

設備采用了片狀與鎢絲融合的加熱器設計,石墨盤表面溫度可達1400℃以上,可以快速升溫至目標溫度并鎖定,在目標
溫度范圍內穩定工作。采用全金屬結構以抑制加熱器高溫變形,提高加熱器使用壽命,減少維護需求。設備具有響應迅
速的報警系統與完善的斷電?;ご朧?,在故障或突發斷電時實施有效?;?,防止急劇降溫造成設備損壞或其他事故
。

 

型號:BDS 3*2",6*2",37*2"。可按用戶需求定制各類高溫薄膜材料制備設備。
應用領域:AlN、紫外LED、電力電子器件等化合物半導體材料制備。

 

技術特性:
* 工作溫度:盤面最高工作溫度可達1400℃以上
* 高均勻性:三區盤面溫度均勻性在1℃以內
* 高重復性:同一升溫配方,盤面溫度重復性在2℃以內
* 高可靠性:全金屬結構更好抑制加熱器高溫變形,提高加熱器壽命

 

質量保證:
1、設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。
保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障,我們將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
3、提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、由技術人員提供上門服務(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、
隨機工具等)。

 

昭信半導體承諾:所有設備出廠前均經過嚴格的質量檢測與功能調試,您可放心選用。